(S = 30 m3/h), extra schaltbar zum Vorevakuieren, schützt den Leckdetektor weitgehend vor schädlichen Partikeln oder Ablagerungen bei kritischen Prozessen
Helium - Dichtheitsprüfwagen
Dieses leistungsstarke Helium-Leckdetektorsystem wird zur Prüfung hermetisch abgedichteter Komponenten verwendet.
Zum Beispiel:
- Druckbehälter
- Sensoren
- Vakuum-Komponenten
- Prozesskammern
Reinraumtauglich:Ja Saugvermögen Hauptstrom - Vakuumpumpe: 15 m3/h Saugvermögen Nebenstrom - Vakuumpumpe: 30 m3/h (zuschaltbar) Max. Einlassdruck: 15 mbar Kleinste nachweisbare Helium-Leckrate, im Vakuummodus: <5·10-12 mbar l/s Kleinste nachweisbare Helium-Leckrate, im Schnüffelmodus: <1·10-07 mbar l/s Maximale messbare Helium-Leckrate: 0,1mbar l/s Messbereich: 12 Dekaden Nachweisbare Massen: 2,3 und 4 Massenspektrometer: 180° magnetisches Sektorfeld Ionenquelle: 2 Kathoden; Iridium/Yttrium Oxid Einlassflansch: DN 25 KF Gewicht: Ca. 125 kg