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mobile menuInfraserv Vakuumservice GmbH - Leihpumpen, Reparatur, Service

Unser Reparaturservice mit jahrelanger Erfahrung

Vakuumpumpen Reparatur
Ionengetterpumpen
Ionengetterpumpen Ionengetterpumpen (IGP), auch Ionenzerstäuberpumpe genannt, sind Ultra-Hochvakuum-Pumpen welche hauptsächlich in Prozessen eingesetzt werden, bei denen sehr niedrige Drücke (<10-11 mbar) und vibrationsarme Umgebung benötigt wird. Das Wirkungsprinzip einer Ionengetterpumpe ist die Elektronenstoß-Ionisation. Dort können sie chemisch gebunden oder implantiert werden und sind damit dem Restgas entzogen. Chemisch reaktive Moleküle werden auch ohne vorherige Ionisation beim Auftreffen auf ein Gettermaterial (normalerweise Titan) gebunden. Diese Art von Pumpe funktioniert nur, wenn bereits Hochvakuum erreicht wurde. Ionengetterpumpen sind für Edelgase nicht sehr gut geeignet, weil abgepumptes Edelgas chemisch nicht gebunden werden kann und unter Umständen wieder freigesetzt wird. Beispiele für Anwendungen:
  • Elektronen-Rastermikroskopie
  • Plasmatechnologien
  • Chemische- und biologische- Verfahren
  Ionengetterpumpen Reparatur Bei Reparaturen von Ionengetterpumpen muss besonders auf Sauberkeit geachtet werden, da Ausgasungen die Pumpleistung oder Prozesse stark beeinträchtigen würden. Die Komplettüberholung von Ionengetterpumpen umfasst je nach Ausführung, die Erneuerung der Kathodenbleche, bzw. der Titangitter sowie die komplette Überholung der Anodenzylinder, Hochspannungsdurchführung, Anbauteile und des Pumpkörpers. Zur Überholung werden die angebauten Magnete nicht benötigt, da nur ein Überschlagtest durchgeführt wird. Wir sind auch in der Lage die kleineren Einwegpumpen (bis 20l), die üblicherweise nach Verbrauch entsorgt werden, zu überholen. Dies spart hohe Kosten, da eine Neuanschaffung nicht mehr nötig ist. Ionengetterpumpen werden von uns nach dem Trockenheizen, sofort mit einem Flansch verschlossen und evakuiert ausgeliefert. Der Testlauf der bei uns überholten/regenerierten Ionengetterpumpen beschränkt sich auf einen Überschlagtest. Das bedeutet ein Hochspannungstest mit 6KV. Dies ist die Garantie für eine intakte IGP. Wir verfügen zudem über große Erfahrung und Kenntnisse im Bereich der Ionengetterpumpe und helfen um den Vakuumprozess beim Kunden zu optimieren. Sie haben Fragen oder Anregungen? Rufen Sie uns an oder senden Sie uns eine direkte Nachricht.