
Vakuumpumpen Reparatur
Kryopumpen
WIR VERSPRECHEN NICHT – WIR KÖNNEN – ODER FINDEN EINE LÖSUNG!
Infraserv repariert und wartet, bis auf wenige Ausnahmen alle auf dem Markt befindlichen Kryopumpen:
- CTI Torr / CTI on Board
- ULVAC
- SHI-APD / Balzers
- Genesis
- Varian / EBARA (je nach Zustand)
- Leybold
- Sumitomo
- Kaltkopf zerlegen, reinigen, überarbeiten, Ventile & Ventilspiel anpassen, Kaltkopf mit Neuteilen montieren (O-Ringe, Dichtungen, Bushings, Lager, Aeroquips)
- Displacer zerlegen, gegebenenfalls Lead Shot reinigen. Displacer, Lead Shot ausheizen, montieren, Seals erneuern
- Kaltfinger polieren
- Pumpkörper zerlegen, reinigen, Spielt überarbeiten (neu beschichten)
- Kohleteil (15K con. Array) erneuern und gegebenenfalls neu belegen
- Pumpe komplettieren. Auf Testplatz evakuieren, Leck- und Schnüffeltest durchführen
- Testlauf über 24 Stunden mit entsprechendem Kompressor
- Bei on Board Modellen wird das Modul auf Null gesetzt, die Backup Batterie getauscht und die RS Schnittstelle geprüft
- Ebenfalls wird die Backup Batterie geprüft und gegebenenfalls getauscht
- Pumpe wird verschlossen, wenn möglich und gewünscht mit Blindflansch evakuiert ausgeliefert
- Testbeleg wird beigelegt
- Zerstäuben von Metallen
- Ionen-Implantation
- Aufdampf-Prozesse
- Elektronenstrahlschweißen
- Plasmatechnologien
- Supraleitender Bereich
