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mobile menuInfraserv Vakuumservice GmbH - Leihpumpen, Reparatur, Service

Unser Reparaturservice mit jahrelanger Erfahrung

Vakuumpumpen Reparatur
Kryopumpen
WIR VERSPRECHEN NICHT – WIR KÖNNEN – ODER FINDEN EINE LÖSUNG! Infraserv repariert und wartet, bis auf wenige Ausnahmen alle auf dem Markt befindlichen Kryopumpen:  
  • CTI Torr / CTI on Board
  • ULVAC
  • SHI-APD / Balzers
  • Genesis
  • Varian / EBARA (je nach Zustand)
  • Leybold
  • Sumitomo
Infraserv Kryopumpen Standard Reparatur:
  • Kaltkopf zerlegen, reinigen, überarbeiten, Ventile & Ventilspiel anpassen, Kaltkopf mit Neuteilen montieren (O-Ringe, Dichtungen, Bushings, Lager, Aeroquips)
  • Displacer zerlegen, gegebenenfalls Lead Shot reinigen. Displacer, Lead Shot ausheizen, montieren, Seals erneuern
  • Kaltfinger polieren
  • Pumpkörper zerlegen, reinigen, Spielt überarbeiten (neu beschichten)
  • Kohleteil (15K con. Array) erneuern und gegebenenfalls neu belegen
  • Pumpe komplettieren. Auf Testplatz evakuieren, Leck- und Schnüffeltest durchführen
  • Testlauf über 24 Stunden mit entsprechendem Kompressor
  • Bei on Board Modellen wird das Modul auf Null gesetzt, die Backup Batterie getauscht und die RS Schnittstelle geprüft
  • Ebenfalls wird die Backup Batterie geprüft und gegebenenfalls getauscht
  • Pumpe wird verschlossen, wenn möglich und gewünscht mit Blindflansch evakuiert ausgeliefert
  • Testbeleg wird beigelegt
  Kryo-Systeme werden im Bereich der Tieftemperatur Technik, Kryogenik (griechisch "Kälte") eingesetzt. Kryogenik ist die Erzeugung von tiefen Temperaturen <123 Kelvin. Diese Temperaturen beeinflussen die thermodynamischen Eigenschaften von Elementarteilchen. Kaltflächen sind in der Lage auf den entsprechend gekühlten Oberflächen Gase zu kondensieren und dabei zu binden (Oberflächenbindung). Nicht-kondensierbare Gase werden bei tiefen Temperaturen unter Verwendung von Aktivkohle adsorbiert. So kann ein großes Spektrum von Gasen gepumpt werden. Kryo-Systeme bestehen in der Regel aus Kälteaggregat (Refrigerator), Kryopumpe und KryotherapieKompressor. Die niedrigen Temperaturen erzeugt man durch die Expansion hoher Gasdrücke, diese erreicht man durch den Einsatz spezieller Kompressoren, die Helium verdichten können. Mit besonders reinem Helium können Temperaturen bis ca. 1K erreicht werden. Diese Systeme sind frei von Kohlenwasserstoffen und werden deswegen bevorzugt in Halbleiter-, Beschichtung-, und ähnlichen Prozessen innerhalb der Industrie eingesetzt. Auch in der Grundlagenforschung, sowie Applikationen mit supraleitenden Materialen werden Kryo-Systeme benötigt. Beispiele für Kryoanwendungen:
  • Zerstäuben von Metallen
  • Ionen-Implantation
  • Aufdampf-Prozesse
  • Elektronenstrahlschweißen
  • Plasmatechnologien
  • Supraleitender Bereich
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